
09
2023-05
柱状磁控溅射靶的优点
1) 比平面靶的靶材利用率高。在镀膜过程中,无论是旋磁型还是旋靶管型柱状磁控溅射靶,靶管表面各个部位连续经过永磁体前面产生的溅射区接受阴极溅射,靶材可以受到均匀的溅射刻蚀,靶材利用率高。靶材利用率高达80%~90%。
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05
2023-05
等离子体直接聚合工艺
无论是内电极式聚合设备,还是外电极式聚合设备,等离子体聚合的工艺过程相对简单,但是等离子体聚合中参数选择较为重要,因为等离子体聚合时参数对聚合薄膜的结构和性能影响较大。
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04
2023-05
热丝弧弧光增强等离子体化学气相沉积技术
热丝弧弧光增强等离子体化学气相沉积技术采用热丝弧枪发射弧光等离子体简称热丝弧弧光PECVD 技术。
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27
2023-04
沉积硬质涂层的常规技术介绍
硬质涂层多是金属陶瓷涂层(TiN 等),由涂层中的金属和反应气化合反应生成。最初是采用热 CVD 技术在 1000℃高温下由热能提供化合反应激活能,这样的温度只适合在硬质合金刀具上沉积 TiN 等硬质涂层,至今仍然是在硬质合金刀头上沉积 TiN-Al20复合涂层的重要技术。
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